por lo que leído hay muchas razones por la que puede salir ese error.
1- unity no tiene los permisos necesarios de ejecución para el UnityLinker.exe, la solución seria ejecutar unity como administrador.
2- pude que sea un error en ASCII del nombramiento del juego como las escenas si coloco en algún momento ej : Exaple_1 eliminar el "_ " podría solucionarlo.
3- versión vieja del Net Framework actualice su versión eso debería corregirlo.
4- Asegúrese de que el nivel de compatibilidad de Api está establecido en .net 4.x.
hay muchas mas razones pero creo que estas son las mas probables.